在制造的復雜流程中，常常會面臨將一個機臺擴展到另一個機臺，或者需要評價兩組數據是否符合生產要求的情況。此時，利用質量工具進行科學判定新的機臺能否進入產線生產就顯得尤為重要。而在這其中，MR（Match Rule，匹配規則）發揮著關鍵作用。

MR 的基本概念與判定標準

MR 作為一種重要的質量判定工具，有不同的類型，如 M.R - 1 和 M.R - 2，它們各自有著明確的判定標準。

• M.R - 1：當 M.R - 1 ≤ 1 時，表示兩組數據無明顯差異；當 M.R - 1 > 1.0 時，則表明兩組數據有顯著差異。
• M.R - 2：若 M.R - 2 ≤ 1.5，說明數據之間無明顯差異；當 M.R - 2 > 1.5 時，意味著數據有顯著差異。

MR 的計算公式

• M.R - 1 公式：M.R - 1 = |New.AVG - BSL.AVG| / σ.BSL 。其中，New.AVG 代表新數據的平均值，BSL.AVG 代表原本數據的平均值，σ.BSL 代表原本數據的標準差。這個公式通過比較新數據和原本數據的平均值差異，并結合原本數據的標準差，來衡量兩組數據的差異程度。
• M.R - 2 公式：M.R - 2 = σ1 / σ2 ，它代表著數據 1 與數據 2 兩者之間的離散程度。當 M.R - 2 ≤ 1.5 時，表明擴展的機臺對應的數據與 BSL（baseline）機臺對應的數據（如 THK、CD）離散程度一致，這樣的機臺擴展是可以被接受的，能夠放心地用于生產。這對于保證生產的穩定性和產品質量的一致性具有重要意義。

MR 計算中涉及的主要數據

平均值

平均值即算術平均值，它是一組數據的總和除以數據的個數。其計算方法在數學和統計學中是基礎且重要的，在半導體數據處理中，平均值能夠反映一組數據的總體水平。例如，在評估機臺生產的產品某一參數時，平均值可以讓我們對產品的整體情況有一個初步的了解。

標準差

標準差是樣本中各個個體與其平均數的差的平方的算術平均值的平方根，它反映的是一個數據集的離散程度。標準差的值越大，說明數據越離散，即個體間差距越大。在半導體制造中，標準差能夠幫助我們了解機臺生產的產品參數的穩定性。如果標準差較大，說明機臺生產的產品在該參數上波動較大，可能需要對機臺進行調整或維護。

MR 在半導體制造中的重要性

在半導體制造過程中，機臺的性能和數據的穩定性直接影響著產品的質量和生產效率。通過 MR 的計算和判定，我們可以科學地評估新的機臺是否適合進入產線生產，避免因機臺性能差異導致的產品質量問題。同時，對于已經在產線中的機臺，定期進行 MR 分析也可以及時發現機臺性能的變化，以便采取相應的措施進行調整和優化。